탄소 나노튜브 제조용 히터

왜 반도체 제조 과정에서 CNT 히터를 사용하는가? 오랫동안 우리는 반도체를 건조하고 경화시키기 위해 대류 오븐이나 할로겐 램프를 사용해 왔습니다. 물론 이 방법도 효과적이었습니다. 하지만 장비가 복잡하고 불편했습니다. 배출 가스 없는 생산 방식과 납이 포함되지 않은...