반도체 히터용 서모커플

버스트 램프로 인해 생산된 웨이퍼들이 망가지는 것을 막아야 합니다. 반도체 가열 과정에서 버스트 램프는 정말 큰 문제입니다. 단순히 가열이 중단되는 것뿐만 아니라, 과도한 부하로 인해 석영관이 파손되면 마치 수류탄처럼 작동하여 웨이퍼 표면에 유리 조각들과 금속 파편들...