웨이퍼 가공 장비용 온도 센서
생산 라인에서는, 가열판의 위치가 반도정도만 벗어나도 문제가 생기지 않습니다. 오히려 그로 인해 많은 손실이 발생합니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 웨이퍼의 크리티컬 디멘션을 결정하는 데 중요한 역할을 하며, 열 관리도 매우 중요합니다. 저희는 이러한 현실을 고려...
태양전지 웨이퍼 건조 램프
파쇄 공정에서는 포토레지스트의 안정성이 매우 중요합니다. 세척 후에도 약간의 수분만 남아 있어도 결함이 발생할 수 있습니다. 또한, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서의 온도 조절도 매우 중요합니다. 일반적인 건조 방식을 사용하면 온도 프로파일이 변동되어 입자 수나...