트윈 튜브 적외선 가열 램프

웨이퍼 건조나 포토레지스트 가열 과정에서 발생하는 열 변동은 치명적인 고장으로 이어지지는 않습니다. 대신 수율 저하, CD 분포의 불균일성, 그리고 재작업으로 인한 시간 손실과 같은 문제가 발생합니다. 열 관리가 매우 중요하기 때문에, 과열된 부분이나 온도가 불규칙한...