왜 진공 적외선 램프 테스트에서는 단축된 방법을 사용하지 않는가? 진공 챔버는 극도로 혹독한 환경입니다. 오차가 전혀 허용되지 않는 곳이죠. 이러한 환경에서 적외선 히터를 만들 때, 아주 작은 전기적 문제라도 치명적일 수 있습니다. 단 한 번의 아크 발생이나 절연체의...

리소 플로어에서 포토레지스트 베이킹은 워밍업이 아닙니다. 그것은 치수 잠금 장치입니다. 1°C의 드리프트는 소프트 베이킹 또는 하드 베이킹에서 중요한 치수(CD)와 사이드월 각도를 이동시키고, 스크랩 양은 빠르게 증가합니다. 진공 공정에서 기존 히터는 가스를 발생시키...