Menghentikan Masalah Kontaminasi Wafer
Marilah kita jujur: dalam proses pengeluaran semikonduktor, kegagalan lampu merupakan bencana yang sangat serius. Ia bukan sekadar “kegagalan komponen”, tetapi situasi yang benar-benar kacau. Apabila tiub kuarsa pecah akibat beban yang berlebihan, serpihan kaca dan filamen tungsten akan jatuh ke atas wafer tersebut.
Dalam sekelip mata, segalanya menjadi kacau. Anda perlu membuang keseluruhan batch wafer tersebut. Ini merupakan masalah yang tidak diinginkan oleh sesiapa pun.
Mengapa kami menggunakan konfigurasi dua tiub
Masalahnya ialah haba. Jika semua tenaga dilepaskan ke dalam satu tiub berkuasa tinggi, titik tengah tiub tersebut akan menjadi terlalu panas. Ini akan menyebabkan tiub kuarsa pecah. Kami menyelesaikan masalah ini dengan membagi beban tersebut kepada dua tiub. Dengan cara ini, suhu permukaan dapat dikawal, dan risiko keretakan akibat haba yang berlebihan dapat dielakkan. Pada masa yang sama, ia masih memberikan haba yang diperlukan untuk proses pengeluaran.
Kelebihan lapisan emas
Mengapa perlu menggunakan lapisan emas? Kuarsa biasa agak membazir kerana ia membiarkan radiasi inframerah keluar ke semua arah. Dengan menambah lapisan emas pada bahagian belakang tiub, kita sebenarnya mencipta cermin yang memantulkan semua tenaga tersebut ke arah wafer. Yang terbaik ialah anda boleh mendapatkan kepadatan haba yang lebih tinggi tanpa perlu meningkatkan voltan secara berlebihan. Ini menjadikan prosesnya lebih efisien.
Melindungi peralatan
Tiada lampu yang benar-benar tahan lama. Apabila kita memaksimumkan pengeluaran, perkara buruk boleh berlaku. Untuk mengelakkan masalah, disarankan untuk menggunakan pelindung fizikal atau “sarung keselamatan” untuk tiub tersebut. Dengan cara ini, sekiranya tiub tersebut pecah, serpihan kaca akan terperangkap dalam sarung tersebut, dan kerja anda tidak akan rosak.
Satu lagi tips: pastikan bekalan kuasa anda berfungsi dengan baik. Adalah mudah untuk meningkatkan voltan lampu yang dilapisi emas supaya suhu yang diinginkan dapat dicapai lebih cepat. Jangan lakukan itu. Anda akan merosakkan filamen lampu tersebut, dan ini akan menyebabkan lampu tersebut pecah. Sebaliknya, tetapkan tetapan PID agar selaras dengan kadar peningkatan suhu semula jadi lampu tersebut. Walaupun ia memerlukan sedikit masa tambahan, ia akan membantu anda mengelakkan masalah yang serius.