Di bahagian pengeluaran cip, had suhu yang diperlukan untuk proses fotorezist bukanlah sesuatu yang boleh dirundingkan. Perubahan suhu sebanyak satu darjah sahaja sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi penting cip tersebut, lalu menjejaskan kualiti cip yang dihasilkan. Lampu pemanas inframerah R7s direka khusus untuk mengelakkan perubahan suhu tersebut.
Apa yang penting dalam proses ini
Lampu R7s menggunakan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek untuk memanaskan wafer, dan ia bertindak dengan cepat, sehingga suhu dapat dikawal dalam masa beberapa saat sahaja. Ini memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer pada tahap ±0.1°C, dan nilai tetap suhu tersebut kekal konsisten dari satu kali penggunaan ke kali yang lain. Lampu ini juga berfungsi dengan baik dalam persekitaran kelas 1–100, tanpa menghasilkan sebarang zarah kontaminan, jadi kontaminasi tidak akan mempengaruhi proses litografi atau etching. Selain itu, struktur kuarsa dan reka bentuk standard R7s memudahkan integrasinya ke dalam modul pemanasan yang sedia ada. Profil suhu juga tetap konsisten walaupun mesin beroperasi 24/7.
Mengapa R7s sesuai untuk proses fotorezist
Dalam proses soft bake dan hard bake, R7s memastikan suhu tetap pada tahap yang diperlukan, sekali gus meningkatkan keseragaman dimensi cip serta memperbaiki profil dinding sisi cip. Kawalan suhu yang lebih baik memungkinkan penggunaan tenaga yang lebih efisien, dan mengurangkan pembaziran bahan. Anda juga akan mengalami kurang insiden berkaitan perubahan suhu akibat lampu, dan masa antara penyelenggaraan juga menjadi lebih lama. Bagi proses etching dan pembersihan yang memerlukan kawalan suhu yang tepat, lampu R7s memastikan kestabilan suhu tanpa berlaku peningkatan atau penurunan suhu yang berlebihan.
Butiran praktikal
Untuk pemasangan lampu R7s, penyelarasan soket dan kontak elektrik yang bersih sangat penting. Kegagalan penyelarasan ini akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Sebelum memasangnya, pastikan voltan peralatan dan toleransi pemasangan sesuai, dan pastikan pengawal suhu mampu mengikuti kelajuan tindak balas lampu tersebut. Rancang penggantian lampu berdasarkan jumlah jam penggunaan, bukan hanya apabila berlaku kerosakan.