Waarom we overstappen op CNT-verwarmers in de半-fabrieken
Al lang gebruiken we convectieovens en halogeenlampen om halfgeleiders te drogen en te verzegelen. Ze werkten wel, maar ze waren erg onhandig in gebruik. Met de behoefte aan nul-uitstootstandaarden en de overgang naar leidvrij materiaal, werkt de oude manier niet meer goed genoeg.
Daarom hebben we gekozen voor Carbon Nanotube (CNT)-verwarmers. In plaats van energie te verspillen door een grote hoeveelheid lucht op te warmen, sturen deze verwarmers direct stralingswarmte naar waar dit nodig is. Dit is efficiënter, sneller en logischer.
Hoe het werkt
Het werkt als volgt: er wordt stroom geleid door een netwerk van koolstofnanobuizen. Als je al eerder met metalen filamenten hebt gewerkt, weet je dat deze even nodig hebben om op temperatuur te komen. Ze moeten eerst het hele materiaal opwarmen. CNT’s doen dit niet; ze reageren bijna onmiddellijk. Zodra je de schakelaar indrukt, is de verwarming al actief. Er is geen tijdverlies meer, waardoor er geen oneffenheden in het materiaal ontstaan.
We gebruiken ook een dunne filmtechnologie. Hierdoor wordt de warmte gelijkmatig over het oppervlak van de wafer verdeeld. Er zijn geen hete plekken en de gevoelige siliciumlagen worden niet beschadigd. Bovendien wordt de energie geconcentreerd in het infrarode gebied, waardoor deze rechtstreeks in het materiaal terechtkomt. De lucht eromheen blijft relatief koel.
Beter voor de planeet (en je energierekening)
Traditionele verwerkingstechnieken vereisen veel energie. Vaak moet een enorme oven urenlang aan staan om klaar te zijn voor gebruik. Met CNT-technologie kun je gemakkelijk inschakelen en uitschakelen wanneer het nodig is. Het verschil in energieverbruik per wafer is enorm.
Omdat leidvrije standaarden een zeer specifieke temperatuur vereisen – te heet kan leiden tot schade aan het materiaal, te koud kan leidden tot problemen met de lasnaden – is precisie cruciaal. We hebben deze apparaten zo ontworpen dat ze binnen milliseconden reageren op veranderingen in de omgevingstemperatuur. Hierdoor is het resultaat zeer nauwkeurig.
Een paar dingen om in gedachten te houden
Het is niet zomaar ‘plug and play’. Deze apparaten genereren veel warmte in een klein gebied. Je moet ervoor zorgen dat het materiaal dit type snelle energietransfer aankan. Als de transportband te langzaam draait, zal het materiaal aan de randen te veel worden verzegeld. Het duurt even om de snelheid van de band en de vermogenssterkte op elkaar af te stemmen, maar zodra dit is gelukt, is het proces zeer betrouwbaar.