Preventeer dat een kapotte lamp je hele productieproces verwoest
Bij het verwarmen van halfgeleiders is een kapotte lamp een groot probleem. Het gaat niet alleen om het feit dat de verarming ophoudt. Wanneer een kwartsbuis onder zware belasting breekt, wordt deze in feite een soort ‘granaat’. Hierdoor vallen er glasscherven en metalen deeltjes op het oppervlak van de wafer. Eén enkele kapotging kan al ervoor zorgen dat je hele productieproces verloren gaat.
We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen.
Het behouden van de schade binnenin
We gebruiken hoogzuiver gefuseerd kwarts, omdat dit materiaal de schokken van snel opwarmen en afkoelen kan weerstaan zonder te breken. Maar daar stoppen we niet bij. We plaatsen ook een speciale beschermende laag rondom de lamp. Stel het maar voor als een soort veiligheidsnet. Als het binnenste filament kapotgaat, blijven de scherven binnenin de laag gevangen. Hierdoor wordt een grote ramp omgezet in een eenvoudige, gecontroleerde stilstand van de lamp. Je hebt dan wel een lamp verloren, maar je hebt je wafers wel kunnen redden.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens worden ontzettend heet. Als het koelsysteem de stijging van de temperatuur niet kan bijhouden, worden de uiteinden van de lamp te heet. Dit veroorzaakt veel spanning op de seals van de lamp. Om dit te voorkomen, hebben we de positie van het filament aangepast. We zorgen er dus voor dat de hitte rechtstreeks op de wafer terechtkomt, en niet op de onderdelen die de lamp ondersteunen. Hierdoor zal het glas niet zacht worden of breken op de meest kwetsbare plekken.
De prijs die je moet betalen
Onze lampen zijn zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Hierdoor hoef je geen urenlang te wachten tot de lamp weer werkt. Maar er is wel een klein nadeel: omdat de beschermende lagen er zijn om de wafers schoon te houden, wordt er iets minder infraroodlicht doorgeleid vergeleken met een gewone buis. Mogelijk moet je de sterkte van de stroom wat verhogen om de gewenste opwarmsnelheid te behouden.
Het is een eerlijke ruil. We willen liever dat je twee seconden nodig hebt om de instellingen aan te passen, dan dat je twee dagen bezig bent met het opruimen van kapotte producten.