Op de productieafdeling leidt thermische afwijkingen tijdens het drogen van de wafers of het bakken van de fotoresist niet tot catastrofale fouten. Ze manifesteren zich eerder als een lagere opbrengst, een verspreiding van de temperatuurverdeling over de wafers, en veel extra werkzaamheden die je tijd opnemen. Met een beperkt thermisch budget is er geen ruimte voor warme punten, koude randen of instellingen die per batch verschillen.
Wat belangrijk is We hebben de dubbele-tubulaire infraroodverwarmer ontworpen met behulp van kortegolfd quartz-emitters. Deze zenden energie snel en direct uit, waardoor er onmiddellijk een reactie optreedt. Door de dubbele-tubulaire opstelling kan de energiedichtheid worden verhoogd, zonder dat er extra ruimte nodig is. Hierdoor kan de verwarmer gemakkelijk worden geplaatst in spintracks, coating/bakingmodules en curingstations. In de actieve zone blijft de temperatuur gelijkmatig bij ±0,1°C. De regelingscyclus is zo ingesteld dat de resultaten steeds consistent zijn. De compatibiliteit met schone ruimtes is ook belangrijk: de gebruikte materialen zorgen ervoor dat er nauwelijks deeltjes worden geproduceerd, wat essentieel is voor omgevingen van klasse 1–100.
Waarom dit nuttig is in onze wereld Het drogen en schoonmaken van wafers gaat sneller, omdat het infraroodlicht rechtstreeks op de wafers wordt gericht, in plaats van dat er een hele luchtlaag wordt verhit. Tijdens het verwerken van fotoresist houdt de lamp de juiste temperaturen vast, waardoor de kwaliteit van de afwerking verbetert en defecten die voortkomen uit thermische ongelijkmatigheden worden verminderd. Voor het verpakken zorgt de lamp voor een gelijkmatige droging van de encapsulanten en underfills, zodat de glasovergang en de hechting voorspelbaar zijn. Bovendien wordt er energie bespaard, want de lamp verwarmt alleen het gewenste gebied. De betrouwbaarheid is ook bewezen: de apparaten werken meer dan 5.000 uur lang met minder dan 5% daling in prestaties.
Dingen die je op de harde manier leert Infraroodlicht heeft een bepaalde richting. Metalen onderdelen kunnen het licht weerspiegelen, en bepaalde constructies kunnen schaduwen veroorzaken. Hierdoor kunnen er lokale warme of koude plekken ontstaan. Dat betekent dat de positie van de lamp goed moet worden bepaald, rekening houdend met de optica en geometrie. Wij bieden een duidelijke montage instructie en raden aan om de lamp één keer na installatie te aligneren. Daarna werkt de lamp zoals verwacht, en hoef je alleen nog maar de regelmatige vervangingsintervallen in acht te nemen.