ในขั้นตอนการอบฟอโตรีสิสต์นั้น สิ่งสำคัญคือการควบคุมอุณหภูมิ หากบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงเปลี่ยนแปลงไป หรือกระจกเริ่มบิดเบี้ยว ก็จะส่งผลให้คุณภาพการผลิตลดลง ในโรงงานผลิตแผง LCD นั้น วัสดุที่ใช้มีขนาดใหญ่ และมีความไวต่ออุณหภูมิสูง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดขึ้นมาเพื่อให้อุณหภูมิคงที่ สามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เครื่องทำความร้อนแบบ NIR ของเราสามารถสร้างอุณหภูมิที่สม่ำเสมอได้ในพื้นที่ขนาดใหญ่ โดยมีความเสถียรของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C บนพื้นผิวที่ใช้ในการอบ นอกจากนี้ อุปกรณ์ส่งความร้อนแบบควอตซ์-ฮาโลเจนยังสามารถสร้างกระแสความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ ทำให้อุณหภูมิคงที่ตลอดกระบวนการอบ
ความเข้ากันได้กับห้องปลอดฝุ่น เครื่องทำความร้อนนี้ถูกออกแบบมาให้เข้ากันได้กับห้องปลอดฝุ่นระดับ 1–100 โดยใช้วัสดุที่ไม่ก่อให้เกิดก๊าซ มีการปิดผนึกจุดต่อต่างๆ และมีการจัดการกระแสอากาศอย่างเหมาะสม เพื่อให้มีจำนวนอนุภาคน้อยที่สุด และป้องกันไม่ให้เกิดการปนเปื้อน การไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ระหว่างกระบวนการอบก็ช่วยปกป้องชั้นฟอโตรีสิสต์ได้เช่นกัน
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผล ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบไม่ใช่เพียงขั้นตอนหนึ่งเท่านั้น แต่เป็นส่วนสำคัญที่ช่วยให้กระบวนการทั้งหมดดำเนินไปได้อย่างราบรื่น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยลดความแปรปรวนของความหนาของชั้นฟอโตรีสิสต์ และความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิที่ดีช่วยให้คุณภาพการผลิตคงที่จากการผลิตแต่ละครั้ง นอกจากนี้ การตอบสนองต่ออุณหภูมิที่รวดเร็วยังช่วยลดเวลาในการอบได้ และประสิทธิภาพการถ่ายโอนความร้อนที่สูงก็ช่วยลดการใช้พลังงานต่อแผงได้ ผลลัพธ์ก็คือ มีการผลิตซ้ำน้อยลง มีของเสียน้อยลง และสามารถเพิ่มกำลังการผลิตได้
สิ่งที่ควรรู้ เครื่องทำความร้อนนี้มีขนาดกะทัดรัดและสามารถติดตั้งได้ง่าย แต่การติดตั้งไม่ใช่เรื่องง่าย คุณต้องปรับแต่งการทำงานของหลอดไฟให้เหมาะสมกับโครงสร้างของห้องอบ ปรับแต่งเครื่องวัดอุณหภูมิให้เหมาะสมกับคุณสมบัติของกระจก และปรับแต่งกระแสอากาศให้เหมาะสมเพื่อให้ได้อุณหภูมิที่สม่ำเสมอ ควรมีการทดสอบการทำงานก่อนการใช้งานจริง เพื่อปรับแต่งค่า PID ให้เหมาะสมกับชั้นฟอโตรีสิสต์และความเร็วของสายพานลำเลียง