Ngăn chặn thảm họa nhiễm bẩn wafer
Hãy thành thật mà nói: trong quy trình chế tạo bán dẫn, việc chiếc đèn bị vỡ là một thảm họa thực sự. Đó không chỉ là sự cố của một bộ phận riêng lẻ, mà còn gây ra rối loạn hoàn toàn trong quy trình sản xuất. Khi ống thủy tinh bị vỡ dưới áp lực lớn, những mảnh thủy tinh và sợi wolfram sẽ rơi xuống các wafer, gây hư hại cho chúng.
Chỉ trong một giây, mọi thứ vẫn ổn, nhưng ngay sau đó, toàn bộ số wafer đã bị hỏng. Đó là tình huống khiến ai cũng phải lo lắng.
Tại sao chúng ta sử dụng cấu trúc hai ống
Vấn đề nằm ở nhiệt độ. Nếu tập trung toàn bộ công suất vào một ống duy nhất, điểm trung tâm của ống sẽ trở nên quá nóng. Điều này khiến ống thủy tinh bị tổn thương nghiêm trọng. Chúng ta giải quyết vấn đề này bằng cách chia công suất ra thành hai ống. Điều này giúp kiểm soát nhiệt độ ở mức an toàn, đồng thời vẫn đảm bảo lượng nhiệt cần thiết cho quy trình sản xuất.
Bí quyết từ lớp phủ vàng
Tại sao lại sử dụng lớp phủ vàng? Thủy tinh thông thường có khả năng để ánh sáng hồng ngoại tràn ra mọi hướng. Bằng cách thêm lớp vàng vào mặt sau của ống, chúng ta tạo ra một “gương” phản chiếu toàn bộ năng lượng về phía wafer. Điều tuyệt vời là chúng ta có thể đạt được mật độ nhiệt cao hơn mà không cần tăng điện áp lên mức nguy hiểm. Điều này giúp quy trình sản xuất hiệu quả hơn.
Đảm bảo an toàn
Không có chiếc đèn nào là hoàn toàn bền vững cả. Khi chúng ta đẩy công suất sản xuất lên mức cao nhất, những sự cố vẫn có thể xảy ra. Để yên tâm hơn, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng lớp bảo vệ bằng thủy tinh. Như vậy, nếu chiếc đèn bị vỡ, các mảnh vỡ sẽ bị giữ lại trong lớp bảo vệ, tránh làm hỏng các wafer.
Một mẹo cuối cùng: hãy chú ý đến nguồn cung cấp điện. Bạn có thể muốn tăng điện áp lên mức cao hơn để đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn. Nhưng đừng làm vậy. Điều đó sẽ làm hỏng sợi dây tóc của đèn và gây ra sự cố nghiêm trọng. Hãy điều chỉnh thông số PID sao cho phù hợp với tốc độ tăng nhiệt tự nhiên của đèn. Mặc dù sẽ mất thêm chút thời gian, nhưng điều đó sẽ giúp bạn tránh được những hậu quả nghiêm trọng.