Hãy ngừng lãng phí thời gian vào những phương pháp vô ích đi: Tại sao việc sử dụng đèn hồng ngoại UHP lại là giải pháp tốt nhất?
Hãy cùng xem xét cách chúng ta làm nóng các tấm wafer. Trong thời gian dài, phương pháp được sử dụng chính là sử dụng luồng khí nóng. Nhưng nếu bạn từng làm việc trong môi trường sản xuất, bạn chắc hẳn hiểu rõ những bất tiện của phương pháp này. Phương pháp này thực chất chỉ đơn giản là làm nóng không khí, hy vọng rằng không khí sẽ truyền nhiệt sang tấm wafer.
Nhưng phương pháp này rất chậm. Có sự chậm trễ trong việc truyền nhiệt.
Đèn hồng ngoại UHP giúp giải quyết vấn đề này. Thay vì sử dụng không khí như trung gian truyền nhiệt, đèn này sử dụng năng lượng bức xạ để truyền nhiệt trực tiếp vào tấm wafer. Đây là phương pháp hiệu quả hơn nhiều.
Sự khác biệt về tốc độ thật sự rất lớn.
Hệ thống sử dụng khí nóng có tính “trễ nhiệt” – chúng mất rất nhiều thời gian để nâng nhiệt độ lên, và cũng mất thêm thời gian để làm mát trở lại. Điều này khiến thời gian xử lý mỗi lô sản phẩm tăng lên. Với đèn UHP, mọi thứ diễn ra gần như tức thì. Chúng tôi thiết kế đèn này sao cho có thể truyền nhiệt với công suất cao trong một diện tích nhỏ, vì vậy bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn chỉ trong vài giây, chứ không phải vài phút.
Khi giảm được thời gian xử lý, năng suất hàng giờ của bạn sẽ tăng lên. Và điều tuyệt vời nhất là bạn không cần phải tìm thêm không gian trong phòng sạch để thực hiện việc này.
Ngoài ra, việc sử dụng khí nóng còn gây ra sự bẩn thỉu. Việc di chuyển không khí chỉ khiến các hạt bụi di chuyển theo. Ngay cả với các bộ lọc HEPA tốt nhất, vẫn có khả năng các hạt bụi vẫn bay sang tấm wafer, và đó là một rủi ro không cần thiết. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao trong các đèn của mình, nhằm loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi. Không còn luồng khí có tốc độ cao nữa, nên ít hạt bụi có thể bay vào vị trí không nên có. Môi trường xung quanh trở nên sạch sẽ hơn.
Tôi phải thừa nhận rằng: năng lượng bức xạ không phải là phép màu. Nó có hướng truyền nhiệt cụ thể. Không khí có thể bao quanh bề mặt vật thể, nhưng năng lượng hồng ngoại thì giống như ánh sáng từ đèn pin. Nếu độ chính xác trong việc định hướng đèn không đúng, bạn sẽ gặp phải tình trạng chênh lệch nhiệt độ – tức là có những vùng lạnh. Bạn cần phải điều chỉnh độ chính xác của các bộ phản xạ sao cho nhiệt lượng được phân bố đều trên tấm wafer.
Nhưng nếu bạn có hệ thống điều khiển có thể xử lý việc chuyển đổi công suất một cách nhanh chóng, thì kết quả sẽ rất tốt. Bạn sẽ có tốc độ nâng nhiệt độ nhanh hơn, môi trường sạch sẽ hơn, và quy trình sản xuất diễn ra nhanh hơn theo đúng yêu cầu của bạn.