中介层加热红外灯

在晶圆制造过程中，如果光刻胶在烘烤过程中的温度偏差达到0.1℃，那么整批300毫米的晶圆就报废了。为了解决这个问题，人们设计了专门的红外线加热装置，从而在温度出现偏差之前就将其消除。 其技术要点在于：这种加热装置使用了具有快速响应特性的石英元件，因此能够实现快速且局部化的加热效果。这样一来，晶圆表...