工业晶圆干燥系统加热器

在生产现场，良率归结于热量控制。即使软烘烤温度漂移几摄氏度，也会开始失去关键尺寸控制。任何导致颗粒脱落的干燥步骤都是缺陷的“单向通行证”。我们设计的工业晶圆干燥加热器是基于这一现实，而非与之对抗。 关键技术细节 我们采用短波卤素石英发射器，实现快速且定向的响应，并通过闭环控制确保晶圆级均匀性保持在...