MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆在无污染的情况下干燥 在制造MEMS传感器时，最不希望出现的状况就是有灰尘或化学污渍污染了晶圆表面。不过，要去除这些表面的水分和溶剂其实相当困难。 长期以来，人们一直使用强制通风式烤箱来干燥晶圆。但这种方法的缺点在于能耗极高，而且需要不断吹动空气。在洁净室里，这样的做法反而会促使...