别再每隔几周就更换加热器了 如果你在化学清洗区域使用红外线加热器，那你就知道会有多麻烦了。那里有易燃的蒸汽，还有会腐蚀一切的液体。普通的石英管根本无法承受这样的环境，它很快就会破裂或被腐蚀掉。 为了解决这个问题，我们并不是简单地给加热器加个保护层而已。我们会把电路部件密封在防护壳中，使其与空气中的...

如何让MEMS晶圆在无污染的情况下干燥 在制造MEMS传感器时，最不希望出现的状况就是有灰尘或化学污渍污染了晶圆表面。不过，要去除这些表面的水分和溶剂其实相当困难。 长期以来，人们一直使用强制通风式烤箱来干燥晶圆。但这种方法的缺点在于能耗极高，而且需要不断吹动空气。在洁净室里，这样的做法反而会促使...

正确控制氢气传感器的加热温度 如果你在制造氢气传感器，那你肯定知道其中的难点。传感器中的膜非常敏感，而催化剂则必须牢固地附着在膜上。如果加热温度有丝毫偏差，那么整批产品都会变得无用。 因此，我们选择使用短波红外加热系统。相比那种需要先加热周围空气的缓慢且繁琐的方法，红外加热可以直接将能量传递到材料...

当红外灯发生故障时，一切都会变得一团糟。在半导体制造领域，灯泡的损坏绝非小问题，而是一场灾难。想象一下：当你正在进行高负荷生产时，石英灯壳突然破裂了。此时，玻璃碎片和钨丝会飞溅到芯片上，这不仅会毁掉单个芯片，还会让整批芯片都无法使用。这么一来，数小时的辛勤工作以及大量资金都付诸东流了。 那么，这些...

在制造过程中，如果加热板的位置出现半度的偏差，那可不会触发警报——但这样会造成巨大的损失。软烘烤和硬烘烤过程决定了产品的关键尺寸，而温度控制则至关重要。我们设计的晶圆温度传感器正是为了解决这个问题：它能够测量晶圆实际感受到的温度，而非仅依据加热器所显示的温度来判断。 真正重要的因素 这款传感器是为...