Bei der Herstellung von Solarzellen ist die Stabilität des Fotolacks unverzichtbar. Schon ein einziger Feuchtigkeitstropfen nach der Reinigung kann zu Defekten führen. Auch das thermische Budget für den Weich- und Hartbrennvorgang ist sehr eng begrenzt. Bei herkömmlicher Trocknung verschiebt sich das Temperaturprofil – man muss ständig auf die Teilchengröße sowie die Linienbreite achten.
Unsere Trockenlampe für Solarmodulwafers gewährleistet eine Temperaturregelmäßigkeit von ±0,1 °C über die gesamte Fläche der Wafer. Dabei werden Kurzwell-Infrarotstrahler verwendet, die in weniger als einer Sekunde reagieren. Diese Präzision sorgt dafür, dass der Fotolacksprozess von Anfang bis Ende reproduzierbar bleibt – ohne Überschreitung der zulässigen Temperaturen. Die Lampe eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100. Sie kann mehr als 5.000 Stunden lang genutzt werden, ohne dass die Intensität um mehr als 5 % abnimmt. Zudem entstehen keine Partikel. Durch integrierte Quarzschutzschichten sowie einen luftdichten Wärmeleitweg wird eine Kontamination verhindert und das Temperaturprofil bleibt erhalten.
Warum das bei der Lithografie und Ätzung wichtig ist: Wenn die Temperaturregelung unsicher ist, wird das Trocknen der Wafer zur limitierenden Größe. Mit dieser Lampe kann die Trocknungszeit reduziert werden, während gleichzeitig das thermische Budget eingehalten wird. Dadurch verbessert sich die Produktivität, ohne dass die Kontrolle über die wichtigen Dimensionen beeinträchtigt wird. Das reproduzierbare Temperaturprofil bedeutet weniger Nacharbeiten, weniger Ausschuss und planbare Zykluszeiten. Zudem sinkt der Energieverbrauch, denn die Lampe erwärmt nur den gewünschten Bereich und schaltet sich genau dann aus, wenn die Trocknungszeit abgeschlossen ist.
Ein paar praktische Hinweise: Die Lampe benötigt eine eigene 24-V-DC-Energieversorgung sowie eine stabile, vibrationsfreie Befestigung direkt neben der Trocknungsstation – dadurch bleibt die Ausrichtung der Lampe präzise. Sie funktioniert mit Standardträgern von 150 mm und 200 mm Durchmesser. Für Träger mit 300 mm Durchmesser ist lediglich eine kleine Anpassung der Befestigung notwendig. Planen Sie eine kurze Testphase, um das exakte Prozessprofil zu ermitteln und die Parameter festzulegen.