In der Fertigungshalle zeigt sich die thermische Drift während des Trocknens der Wafer oder beim Erhitzen des Photoresists nicht als katastrophaler Fehler. Stattdessen führt sie zu einem Rückgang der Ausbeute, zu einer ungleichmäßigen Verteilung der Temperatur sowie zu vielen Reparaturarbeiten, die viel Zeit in Anspruch nehmen. Bei einem begrenzten thermischen Budget bleibt kein Raum für Hotspots, kältere Bereiche oder Setpunkte, die von Lauf zu Lauf variieren.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Doppelrohr-Infrarotheizer um Kurzwellenquarzemitter herum konstruiert. Diese geben Energie direkt und schnell ab – die Reaktion ist somit sofortig. Die Doppelrohrlösung ermöglicht eine hohe Leistungsdichte, ohne Platz zu beanspruchen. Dadurch kann der Heizer problemlos in Spinnmodule, Beschichtungs- und Trockenungseinheiten integriert werden. In der aktiven Zone bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C. Der Regelkreis ist so eingestellt, dass die Trockenungsprofile von Lauf zu Lauf konstant bleiben. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist selbstverständlich – die verwendeten Materialien sorgen dafür, dass es kaum Partikelbildung gibt. Das ist genau das, was man in Umgebungen der Klassen 1–100 benötigt.
Warum das in unserer Welt nützlich ist
Das Trocknen und Reinigen der Wafer erfolgt schneller, da das Infrarotlicht direkt auf den Wafer trifft, anstatt ein ganzes Luftvolumen zu erhitzen. Bei der Verarbeitung des Photoresists hält die Lampe eine konstante Temperatur bei, was dazu beiträgt, Unebenheiten an den Kanten der Wafer zu reduzieren und Defekte zu vermeiden, die auf thermische Unregelmäßigkeiten zurückzuführen sind. Für das Verpacken sorgt die Lampe dafür, dass die Beschichtungen gleichmäßig trocknen, sodass die Eigenschaften des Materials vorhersehbar sind. Zudem wird Energie eingespart, da die Lampe nur das Zielgebiet erwärmt. Die Zuverlässigkeit der Geräte ist ebenfalls gegeben: Sie funktionieren mehr als 5.000 Stunden lang, wobei der Leistungsabfall unter 5% liegt.
Dinge, die man am eigenen Leib erfahren muss
Infrarotlicht benötigt einen freien Sichtweg. Metallteile können das Licht reflektieren, und Halterungen erzeugen Schatten – dadurch können lokale Hotspots oder kältere Bereiche entstehen. Deshalb muss die Position der Lampe sorgfältig in Bezug auf Optik und Geometrie ausgewählt werden. Wir bieten Ihnen klare Anleitungshinweise zur Montage und empfehlen eine einmalige Justierung bei der Installation. Danach funktioniert die Lampe wie vorgesehen – Sie müssen lediglich die vorgeschriebenen Intervalle für den Austausch der Lampe einhalten.