Arrêter l’enfer de la contamination des wafer
soyons honnêtes : dans le traitement des semi-conducteurs, une défaillance d’une lampe représente une véritable catastrophe. Ce n’est pas simplement une panne de pièce ; c’est un vrai désastre. Lorsqu’un tube en quartz se brise sous une charge importante, des éclats de verre et des filaments en tungstène tombent sur les wafer. Une seconde avant, tout va bien ; la seconde d’après, il faut jeter des lots entiers de produits finis. C’est un problème dont personne ne veut.
Pourquoi utilisons-nous deux tubes
Le problème avec la chaleur, c’est que si l’on concentre toute cette puissance dans un seul tube à haute puissance, le point central devient extrêmement chaud. Cela provoque des tensions excessives dans le quartz, jusqu’à ce qu’il ne puisse plus résister. Nous résolvons ce problème en répartissant la charge sur deux tubes. Ainsi, la température de surface reste contrôlée, et les chocs thermiques sont évités. En même temps, on obtient toujours la chaleur nécessaire pour le processus.
Le secret du revêtement en or
Pourquoi l’or ? Le quartz standard est un peu inefficace : il laisse passer les rayonnements infrarouges dans toutes les directions. En ajoutant une couche d’or à l’arrière du tube, on crée en quelque sorte un miroir qui renvoie toute cette énergie directement vers le wafer. Le meilleur avantage ? On obtient une densité de chaleur plus élevée sans avoir à augmenter la tension électrique à des niveaux dangereux. C’est simplement plus efficace.
Protéger les équipements
Aucune lampe n’est indestructible. Lorsque l’on pousse la production à son maximum, des accidents peuvent survenir. Pour dormir mieux, nous conseillons d’utiliser un bouclier de protection ou une « gaine de sécurité » en quartz. Ainsi, si un tube venait à se briser, les débris resteraient confinés à l’intérieur de la gaine, sans endommager les produits finis.
Un dernier conseil : faites attention à l’alimentation électrique. Il est tentant d’augmenter la tension d’une lampe recouverte d’or afin d’atteindre les objectifs de température plus rapidement. Ne faites pas cela : vous risquez de détruire le filament et de provoquer une défaillance de la lampe. Adaptez plutôt les paramètres PID à la vitesse de montée en température naturelle de la lampe. Cela prendra un peu plus de temps, mais cela vous épargnera des problèmes graves.