בשלב האפייה של הפוטורזיסט, יש לקבוע את הערכים התרמיים הנדרשים. אם אזור החימום משתנה או שהזכוכית מתעקמת, הערכים התרמיים הנדרשים נעלמים, וכתוצאה מכך ירדת האיכות של המוצר. במפעלי LCD, החומרים שמשמשים כבסיס לייצור הם גדולים, רגישים לטמפרטורה, ואינם סובלים ביצועים לא יציבים. לכן, ייצרנו את החיממים באינפרא-אדום שלנו כך שהם ישמרו על יציבות תרמית, ויאפשרו שליטה מדויקת בטמפרטורה.
מה חשוב מבחינה טכנית? החיממים שלנו מאפשרים אחידות טמפרטורית ברמה של פחות ממילימטר אחד על שטחים גדולים, עם יציבות טמפרטורה של ±0.1°C על כל שטח האפייה. רשת הפלט ההלוגן של החיממים מספקת זרם חום גבוה, והיא מאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה. כך, הערכים התרמיים נשארים בטווח המותר, משלב האפייה הראשון ועד האחרון.
החיממים שלנו מתאימים לתנאי חדרי ניקיון מסוג 1–100. חומרים עם פליטת גזים נמוכה, חיבורים אטומים, ומערכת זרימת אוויר מושלמת – כל אלו תורמים לשמירה על רמת חלקיקים נמוכה ומונעים זיהום. אין ייצור של חלקיקים במהלך האפייה, מה שמגן על שכבת הפוטורזיסט.
למה זה עובד כאן? בתהליך הליתוגרפיה, האפייה אינה שלב נפרד – היא מאפשרת את כל התהליך. אחידות תרמית גבוהה מפחיתה את השינויים ברוחב הקווים, והיכולת לחזור על התהליך מבטיחה תוצאות עקביות בין סידרות שונות של מוצרים. תגובה תרמית מהירה מקצרת את זמן האפייה, מבלי לגרום לעלייה יתרה בטמפרטורה. יעילות גבוהה של החיממים מפחיתה את צריכת האנרגיה לכל פאנל. התוצאה היא פחות עבודות תיקון, פחות פסולת, ויכולת ייצור אמינה.
דברים שצריך לדעת: החיממים שלנו הם קומפקטיים ומודולריים, אך השילוב שלהם אינו פשוט. יש להתאים את עוצמת האור של החיממים לגеометריה של החדר, לכייל את הפירומטר לערכי הפלט של הזכוכית, ולוודא שמערכת זרימת האוויר תאפשר אחידות טמפרטורית. יש לבצע ניסויים קצרים כדי להתאים את החיממים לתנאים של החדר ולמהירות ההעברה של הפאנלים.