परिचय
क्या आपने कभी ऐसा महसूस किया है कि आप समय का इंतजार करते हुए ही फंसे हुए हैं? जब वेफरों पर गहन प्रसंस्करण प्रक्रियाएँ चल रही होती हैं, तो गर्म हवा सब कुछ धीमा कर देती है। इसी समस्या को दूर करने हेतु हमने “एनर्जी-इफिशेंट वेफर हीटर” नामक उपकरण विकसित किया।
यह उपकरण गति पर ही केंद्रित है। हमने शॉर्टवेव इन्फ्रारेड हैलोजन तकनीक का उपयोग किया, ताकि ऊष्मा सीधे वेफर की सतह पर ही पहुँच सके… बिना पूरे चेंबर को ओवन में बदलने की आवश्यकता के।
इस उपकरण की विशेषताएँ
यह उपकरण घनत्वपूर्ण, सटीक एवं नियंत्रणयोग्य है। यह 400V वोल्टेज पर काम करता है; इससे छोटे स्थान में ही अधिक ऊर्जा प्राप्त होती है… बिना विद्युत प्रणाली पर अतिरिक्त बोझ पड़े। इसके कारण तापमान तेजी से बढ़ता है, एवं उपयोग के समय तापमान स्थिर रहता है।
300 मिमी की गर्मी-प्रदान करने की क्षमता भी बेहतरीन है… यह मानक उपकरणों के अनुरूप है, इसलिए इसे आसानी से उपयोग में लाया जा सकता है।
वाटेज ऐसी ही है कि इससे ठीक उतनी ही ऊष्मा प्राप्त होती है, जिससे सुसंगत परिणाम प्राप्त हों… बिना जटिल व्यवस्थाओं की आवश्यकता के।
डिज़ाइन एवं संरचना
हमने इस उपकरण के कोर को क्वार्ट्ज से ढका है… एवं इसमें उच्च-शुद्धता वाला हैलोजन भरा है। यह संयोजन ऊष्मा को स्थिर रखने में मदद करता है… एवं शॉर्टवेव इन्फ्रारेड ऊर्जा को भी स्थिर रखता है… जिसे सिलिकॉन एवं पतली फिल्में आसानी से अवशोषित कर लेती हैं।
अंदर, हैलोजन चक्र अपना काम करता है… जिससे फिलामेंटों का विघटन नहीं होता… एवं हीटर हजारों बार गर्म/ठंडा होने के बाद भी स्थिर रहता है।
R7s बाय-पिन कनेक्टर के कारण लैंप बदलना आसान है… इससे रुकावटें कम हो जाती हैं। बाहरी कोटिंग भी मजबूत है… यह तापीय झटकों को सहन कर सकती है… एवं संदूषण को रोक सकती है… जिससे उत्सर्जन स्थिर रहता है… एवं रखरखाव भी आसान हो जाता है।
आपके लिए क्या फायदा?
गहन प्रसंस्करण में समय ही पैसा है… और इन्फ्रारेड तकनीक समय के मामले में बेहतरीन है।
चूँकि यह वेफर को सीधे गर्म करता है… न कि उसके आसपास की हवा को… इसलिए आपको पूरे चेंबर के गर्म होने का इंतजार नहीं करना पड़ता। तापमान तेजी से बदलता है… एवं एकरूपता भी बनी रहती है। इससे प्रति बैच में कम ऊर्जा खर्च होती है।
यह वही उन्नयन है, जिसकी आवश्यकता तब होती है, जब आपको अधिक उत्पादन चाहिए… लेकिन अधिक जगह नहीं चाहिए।
लेकिन ध्यान रखें… इतनी अधिक ऊष्मा के कारण आपको उचित शीतलन एवं सुरक्षा व्यवस्था आवश्यक है… अन्यथा गर्म बिंदु बन सकते हैं। लेकिन यदि लैंप को आपके ऊष्मा-बजट के अनुरूप चुना जाए, तो सब कुछ सुचारू रहेगा… एवं असफलताएँ भी कम होंगी।