वेफर सूखाने या फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में होने वाला तापीय परिवर्तन, कोई गंभीर समस्या नहीं है। इसका प्रभाव तो केवल उत्पादन दर में कमी, सीडी वितरण में असमानता, एवं अतिरिक्त कार्यों के रूप में ही दिखाई देता है। जब तापीय नियंत्रण बहुत ही सख्त होता है, तो हॉट स्पॉट, कोल्ड एजेस, या सेटपॉइंटों में परिवर्तन होने की कोई गुंजाइश ही नहीं रह जाती।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ट्विन-ट्यूब इन्फ्रारेड हीटर को शॉर्ट-वेव क्वार्ट्ज एमिटरों के आधार पर बनाया है। ये एमिटर ऊर्जा को सीधे एवं तेजी से वितरित करते हैं; इसलिए प्रतिक्रिया भी तुरंत ही होती है। ट्विन-ट्यूब संरचना के कारण ऊर्जा घनत्व बढ़ जाता है, लेकिन जगह की आवश्यकता नहीं होती। इससे तापमान संयमित रहता है – ±0.1°C के भीतर। नियंत्रण प्रणाली ऐसी है कि उत्पादन प्रक्रिया हर बार एक जैसी ही रहे। क्लीनरूम में भी यह हीटर उपयोगी है; क्योंकि इसकी सामग्रियों के कारण कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है… जो कि क्लास 1–100 वाले वातावरणों के लिए आवश्यक है।
हमारी दुनिया में इसका क्या उपयोग है?
वेफर सूखाने/साफ करने की प्रक्रिया तेज हो जाती है, क्योंकि इन्फ्रारेड किरणें सीधे वेफर पर ही पड़ती हैं… न कि पूरे वायुमंडल पर। फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में, लैंप स्थिर तापमान बनाए रखता है… जिससे उत्पादों की गुणवत्ता में सुधार होता है। पैकेजिंग के लिए, यह हीटर एनकैप्सुलेंटों एवं अंडरफिलों को समान रूप से गर्म करता है… जिससे ग्लास ट्रांजिशन एवं चिपकने की प्रक्रिया भी सही रहती है। ऊर्जा की भी बचत होती है… क्योंकि लैंप केवल लक्षित वस्तुओं को ही गर्म करता है। इसकी विश्वसनीयता भी साबित हो चुकी है… क्योंकि यह 5,000+ घंटों तक काम कर सकता है… और इसका आउटपुट 5% से भी कम घटता है।
कौन-सी बातें सीखने में कठिनाई होती है?
इन्फ्रारेड किरणें केवल दृष्टि-रेखा में ही कार्य करती हैं… धातुओं से ताप वापस परावर्तित हो जाता है… इसलिए कुछ जगहों पर तापमान अधिक/कम हो जाता है। इसलिए लैंप की स्थिति को ऑप्टिक्स एवं ज्यामिति के आधार पर ही निर्धारित करना होता है। हम आपको सही स्थापना व्यवस्था देते हैं… एवं स्थापना के समय ही लैंप को सही तरीके से संरेखित करने की सलाह देते हैं। इसके बाद लैंप निर्धारित समय पर ही काम करता है… आपको बस नियमित रूप से लैंप को बदलना ही होता है।