リソグラフィー装置内では、わずかな位置のずれでもSEMステージが動いてしまい、CD測定の精度が悪化してしまいます。また、フォトレジストの硬化プロファイルも、ビーム下での熱安定性によってのみ再現性が保たれます。必要なのは、単に熱を供給するだけでなく、その熱量を正確に制御できるヒーターです。
技術的に重要な点 私たちは、ガス放出量が少ない材料や、迅速に反応するハロゲン/クォーツランプを使ったSEMヒーターを開発しました。測定エリア全体において、ウェーハの均一性は±0.1℃以内に保たれ、設定値の再現性も±0.05℃以内です。 このシステムは、粒子の発生が一切ないため、クリーンルームのクラス1～100を満たしつつ、チャンバーの完全性も維持されます。電力供給も安定しており、ソフトベイクやハードベイクの温度も適切に制御されるため、ライン幅の制御やプロファイルの再現性も低下しません。 24時間体制での信頼性は、正確な熱サイクルと堅牢な電気接続によって実現されており、計画外の停止時間はゼロです。
現場での重要性 SEM測定においては、熱による変動が直接測定誤差につながり、それによって不良品が生じます。このヒーターを使用すれば、ビーム下でのステージ温度が安定し、CDの均一性データも統計的に安定したままです。 その結果、再測定や再作業が減り、工場のスケジュールも乱れません。また、熱が必要な場所だけに供給されるため、エネルギー消費も抑えられ、ウェーハごとのステージ調整時間も短縮されます。
準備が必要なこと 設置時には精度が求められます。機械的な隙間や適切な断熱処理が必要であり、そうでないと寄生熱路が生じてしまいます。互換性はチャンバーの形状やステージセンサーのインターフェースに依存するため、現場で適合性を確認し、制御ループを調整します。 具体的なSEM構成やウェーハの仕様に合わせて、PID定数を調整するための短時間の試運転も必要です。