LCDパネル製造用赤外線ヒーター

露光工程において、フォトレジストの焼成処理は、熱管理を行う重要なステップです。もし加熱エリアの温度が不安定になったり、ガラスが変形してしまったりすると、均一性が失われ、成品率が低下します。LCDパネルの製造では、基板のサイズが大きく、熱に敏感であり、不十分な制御では許容されません。そのため、私たち...