ガラスの破片からウェーハを守る：IRランプの故障を防ぐ方法
高負荷な運転中にIRランプが壊れてしまった経験がある人なら、それがどれほどひどいことか理解しているでしょう。単に電球を交換するだけでは済みません。ガラスの破片やハロゲンガスの問題もあります。そして、一括りのウェーハがすべて無駄になってしまうという事実に直面します。
これは大変な状況ですし、費用もかさみます。
私たちは、このような故障の連鎖を断ち切るために、特別にクリーンルーム用のヒーターを開発しました。
混乱を防ぐ
石英管だけに頼るのは危険です。その代わりに、すべてを強化されたケースで覆います。これはまるで安全網のようなものです。もし内部のランプが熱ストレスで割れたり壊れたりしても、このケースが破片を受け止めてくれます。そうすれば、シリコンウェーハが傷つく心配はありません。このケースには高純度の融解石英が使われているため、ガスの漏出や金属片がクリーンルーム内に入る心配もありません。
熱と電力の管理
ほとんどのIRランプは、電圧の急上昇によって壊れてしまいます。それだけです。
これを解決するために、ヒーター自体に電流制限機能を組み込んでいます。そうすることで、電力が急激に増加した時でもフィラメントが過熱するのを防ぎます。また、ワット数と長さの比率も厳密に管理しています。なぜかというと、「ホットスポット」がランプを破壊するからです。熱を均等に分散させることで、ランプの寿命が延びます。
便利な設計
誰も、ランプを交換するためにわざわざヒーター全体を分解したくはありません。そのため、私たちはモジュール式の「ドロップイン」デザインを採用しました。ランプを簡単に交換でき、作業を中断する必要がありません。
また、金メッキされたコネクタも使用しています。聞こえは豪華ですが、実用的です。接触点での酸化を防ぎ、電気抵抗を減らし、端子部分での発熱も抑えられます。
注意点
もし、より速く動作させるためにワット数を極限まで上げる場合は、冷却ファンの状態にも注意してください。十分な風量がないと、過剰な熱がヒーターの筐体を変形させてしまいます。空気を適切に循環させれば問題ありません。