ウェーハ処理における熱の無駄遣いを止めましょう。
正直に言って、ほとんどのウェーハ加熱装置は、実に無駄が多いのです。
標準的な石英ランプを使用している場合、熱は360度全方向に放出されます。つまり、高価な電力の半分が、シリコンに直接当たるのではなく、装置自体を温めるだけに使われているのです。これは電力の無駄であり、冷却システムにとっても負担となります。
私たちは、金の反射コーティングを使用することで、熱を必要な場所にだけ送るようにしました。
なぜ金なのか？
それは、金が赤外線を効果的に反射するからです。赤外線を元に戻す能力が非常に優れています。反射器に正確な厚さの金層を加えることで、赤外線が無駄に散乱するのを防ぎ、ウェーハ表面に集中させることができます。
ここでの目的は、単に「より高温にする」ことではありません。重要なのは制御です。ワット数を上げることなく、より強力で精密な熱ビームをターゲットに向けることができます。
電気代の節約
システムを設計する際、できるだけ早く目標温度に到達したいものです。
金コーティングされた反射器により、真空チャンバーがオーブンのようになってしまう「漏れ」がなくなります。その結果、1枚のウェーハあたりに必要な電力が減ります。数百個のランプを使う大量生産ラインの場合、このような小さな節約が積み重なり、月々の光熱費が大幅に削減されます。
注意点
ただし、利点には代償があります。熱が非常に集中するため、物事の動きが速くなります。つまり、PID制御をしっかり行う必要があります。もし制御回路が遅れると、目標温度を超えてしまい、システムが反応する前に基板上の材料が破損してしまう可能性があります。
良いニュースは、これらの反射器は既存のアルミや研磨された鋼鉄製の部品と交換可能だということです。完全な再設計をすることなく、装置を冷却状態に保ち、ファンの負担も軽減できます。ただし、センサーがその強烈な熱に対応できるかを確認してください。