ウェーハ処理装置用温度センサー

製造現場では、ホットプレートの位置が半度ずれても、それだけでは問題にはなりません。しかし、多くのコストが無駄になってしまいます。ソフトベイクとハードベイクによって重要な寸法が決まりますが、熱的な条件については議論の余地はありません。私たちは、この現実に合わせてウェーハチップ用の温度センサーを開発し...