ファブ用R7s赤外線ヒーターバルブ

ファブ内では、フォトレジストの熱管理は、交渉の対象になるものではありません。わずか1度の温度変動でも、重要な寸法の制御を乱し、結果として歩留まりが低下してしまいます。R7sの赤外線ヒーターは、このような温度変動を根本から防ぐために設計されています。 内部で何が重要か R7sは短波長の赤外線をウェー...