UHP 超純度 ヒーターランプ

無駄な時間の浪費をやめよう：なぜUHP赤外線が最適なのか ウエハーを加熱する方法について話しましょう。長い間、一般的に使われてきたのは熱風循環方式でした。しかし、実際に工場で働いてみれば、その非効率さがわかります。強制対流方式というのは、単に空気を温めて、その空気がウエハーに熱を伝えるのを期待する...