IR 램프가 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요.
대량 생산 환경에서 IR 램프가 고장나면 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동 중단의 문제뿐만 아니라, 세라믹 튜브가 실리콘 웨이퍼 위에서 파열되면 즉시 오염이 발생하여 전체 제품이 폐기되는 상황이 됩니다. 정말 엉망이죠.
바로 이런 이유로 우리는 글로브박스용 IR 소자를 특별한 방식으로 설계합니다.
유리가 제자리에 있도록 유지하기
우리는 단일 층의 유리만을 사용하지 않습니다. 이중 층 구조를 사용하는 것입니다. 물론 가열 요소는 고순도의 융합 세라믹으로 만들어지지만, 글로브박스의 경우 추가적인 보호 장치를 사용합니다. 이는 일종의 특수 세라믹 슬리브입니다.
이것은 마치 보험과 같은 역할을 합니다. 내부 필라멘트가 고장나거나 열충격으로 인해 튜브가 깨져도, 이 슬리브가 유리 조각들을 막아주고 할로겐 가스를 가두어 줍니다. 그래서 웨이퍼는 깨끗하게 유지됩니다. 이물질도 없고, 문제도 발생하지 않습니다.
열 처리 문제 해결
높은 와트 수치로 램프를 작동시키면 “핫 스폿”이 발생합니다. 그곳에서는 유리가 너무 부드러워져 결국 파손됩니다. 이를 막기 위해 우리는 튜브 전체에 걸쳐 전력 밀도를 균등하게 분배하여 특정 부분이 과열되는 것을 방지합니다.
하지만 여기서도 사용자의 역할이 중요합니다. PID 컨트롤러를 올바르게 설정해야 합니다. 목표 온도를 10%만 초과해도 램프의 수명이 줄어들고, 결국 램프가 파손될 수 있습니다.
설치 시 주의사항
우리는 전기 연결을 단단히 하기 위해 표준 커넥터를 사용합니다. 왜냐하면 연결이 느슨하면 아크가 발생하여 튜브가 파괴될 수 있기 때문입니다. 연결할 때는 반드시 접촉 압력을 확인해야 합니다. 2초밖에 걸리지 않지만, 나중에 큰 문제를 피할 수 있습니다.
주의해야 할 점은, 그 보호 슬리브가 IR 광선을 약간 차단한다는 것입니다. 따라서 램프가 아무런 보호 장치 없이 작동할 때와 같은 반응 속도를 얻으려면 전력 설정을 3~5% 높여야 할 수도 있습니다.
이는 작은 타협일 뿐이지만, 웨이퍼 위의 유리 조각들을 청소하는 것보다는 훨씬 낫습니다.