Op de productielijn is een temperatuurverschil van slechts 0,1°C tijdens het verhitten van de fotoresist voldoende om een hele lading van 300 mm grote wafers te verspillen. De infrarode lampen die worden gebruikt voor het verwarmen van de interposer, zijn ontworpen om dit soort temperatuurverschillen te voorkomen, nog voordat ze zich zelfs maar manifesteren.
Het technische hart van dit systeem bestaat uit kortegolflange infraroodemitters met snel reagerende kwartscomponenten. Hierdoor wordt er snel en gericht warmte gegenereerd. De temperatuur over het oppervlak van de interposer blijft binnen een bereik van ±0,1°C, zodat de temperatuurrepetitiebheid binnen normale grenzen blijft. De piekgolflengte is afgesteld op de absorptie van de fotoresist, zodat de energie precies daar terechtkomt waar het nodig is – in de film – zonder dat de onderliggende diëlektrica worden beschadigd. De lamp werkt 24/7, produceert geen deeltjes en zorgt voor een schone omgeving, van klasse 1 tot klasse 100.
In de lithografie weten we hoe belangrijk het is om een constante temperatuur te hebben. Het zachte verhitten haalt oplossingen uit de fotoresist, terwijl het harde verhitten het patroon vastzet voordat het wordt geëtst. Beide stappen vereisen een stabiele en gelijkmatige temperatuur. Deze lamp houdt de thermische profilering van de interposer stabiel, waardoor er minder variatie in de lijnenbreedte optreedt en er geen oneffenheden of vuil ontstaan na het ontwikkelen.
Het resultaat? Meer productie, minder herwerkingspogingen en betrouwbare controle over de diameter van de wafers. Ook het energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen de gewenste zone verwarmt, en niet de hele plaat.
Een paar praktische punten: bij installatie moet er goed op de optische alignment worden gelet, en moet de lamp op een manier worden gemonteerd die past in de schone omgeving. De uitgangsintensiteit is gekalibreerd voor specifieke interposers, dus als de interposer verandert, kan het nodig zijn om de instellingen snel aan te passen.
Plan de integratie van deze lamp alvast samen met uw lithografische apparatuur en de thermodrive-unit. Zodra alles goed is op elkaar afgestemd, kan het proces soepel verlopen.