На этапе обжига фоторезиста необходимо установить оптимальные температурные параметры. Если температура в определенных зонах изменяется или стекло начинает деформироваться, это приводит к снижению качества продукции. В производстве LCD-панелей подложка имеет большие размеры, чувствительна к температурным изменениям, и любые ошибки в контроле температуры могут иметь серьезные последствия. Мы разработали инфракрасные нагреватели, которые позволяют поддерживать стабильные температурные параметры и контролировать их соответствие заданным значениям.
Что важно с технической точки зрения
Наши инфракрасные нагреватели обеспечивают однородность нагрева на больших поверхностях с точностью до субмиллиметра. Стабильность температуры на поверхности подложки составляет ±0,1°C. Кварцево-галогенные нагреватели обеспечивают высокую интенсивность теплового потока, что позволяет быстро реагировать на изменения температуры. Температурные параметры контролируются с высокой точностью, что гарантирует их соответствие заданным значениям на всех этапах процесса обжига.
Соответствие стандартам чистых помещений
С самого начала учитывается необходимость соответствия устройств стандартам чистых помещений класса 1–100. Материалы с низким уровнем выделения газов, герметичные соединения и оптимизированный распределение потока воздуха способствуют поддержанию низкого уровня загрязнения. Отсутствие образования частиц во время термических циклов защищает слой фоторезиста.
Почему это работает
В процессе лиотографии обжиг не является отдельным шагом – он является неотъемлемой частью всего процесса. Высокая однородность температуры снижает изменчивость размеров элементов панели и предотвращает их сокращение. Повторяемость процесса обжига обеспечивает стабильное качество продукции. Быстрая реакция нагревателей на изменения температуры сокращает время процесса без возникновения перегрева. Высокий коэффициент эффективности нагрева позволяет снизить расход энергии на производство одной панели. В результате сокращается количество бракованных изделий, а производственная мощность остается на высоком уровне.
Что нужно знать
Нагреватели имеют компактную конструкцию и модульную структуру, но их интеграция не является простой. Необходимо согласовать мощность нагревателей с геометрией камеры, настроить пирометр с учетом эмиссивности стекла и оптимизировать распределение потока воздуха для достижения желаемой однородности температуры. Необходимо также провести тестовый запуск для настройки параметров PID в зависимости от особенностей подложки и скорости передачи материала через конвейер.