
Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong quá trình xử lý wafer đi!
Thành thật mà nói, hầu hết các thiết bị sưởi ấm wafer đều gây lãng phí năng lượng một cách đáng kinh ngạc. Nếu bạn sử dụng những bóng đèn thạch anh thông thường, chúng sẽ phát ra nhiệt lượng ở mọi hướng – 360 độ. Điều này có nghĩa là một nửa lượng điện năng bạn tiêu thụ chỉ được dùng để làm nóng thân máy, chứ không phải để làm nóng bề mặt silic. Đó là sự lãng phí năng lượng, và cũng gây áp lực lớn lên hệ thống làm mát của máy.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng lớp phủ phản chiếu bằng vàng, giúp chuyển hướng nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết.
Tại sao lại chọn vàng?
Bởi vì vàng có khả năng phản chiếu sóng hồng ngoại rất tốt. Bằng cách thêm một lớp vàng lên bề mặt phản chiếu, chúng ta có thể ngăn chặn sóng hồng ngoại lan tỏa ra ngoài, và khiến chúng quay trở lại bề mặt wafer. Mục tiêu ở đây không phải là làm cho nhiệt độ tăng lên, mà là kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Nhờ đó, bạn có thể đạt được mức nhiệt độ mong muốn mà không cần tăng công suất máy lên.
Tiết kiệm chi phí điện năng
Khi thiết kế hệ thống, bạn muốn đạt đến nhiệt độ mong muốn càng nhanh càng tốt. Các bộ phản chiếu được phủ vàng giúp loại bỏ sự “thất thoát” nhiệt lượng, từ đó giúp giảm lượng điện năng cần thiết để duy trì nhiệt độ. Nếu bạn sử dụng hàng trăm bóng đèn trong một dây chuyền sản xuất lớn, những khoản tiết kiệm nhỏ này sẽ tổng hợp thành một con số khổng lồ, giúp giảm chi phí điện năng hàng tháng.
Lưu ý quan trọng
Có một nhược điểm là do nhiệt độ được tập trung mạnh, nên mọi thứ diễn ra rất nhanh. Bạn cần phải theo dõi chặt chẽ việc điều chỉnh nhiệt độ. Nếu hệ thống điều khiển hoạt động chậm, bạn có thể vượt quá mức nhiệt độ mong muốn, gây hư hại cho wafer trước khi hệ thống kịp phản ứng.
Tin tốt là chúng tôi đã thiết kế những bộ phản chiếu này để có thể thay thế dễ dàng cho các bộ phận bằng nhôm hoặc thép được sử dụng hiện nay. Thiết bị của bạn sẽ vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, các quạt không cần phải hoạt động ở công suất cao, và chi phí năng lượng cũng sẽ giảm xuống. Chỉ cần đảm bảo rằng các cảm biến của bạn có thể đối phó với mức nhiệt độ cao hơn này.