Chuyển từ phương pháp sử dụng khí nóng sang phương pháp sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone trong quy trình gia công bán dẫn
Nếu bạn vẫn còn sử dụng phương pháp sử dụng khí nóng để gia công bán dẫn, có lẽ bạn đang lãng phí rất nhiều thời gian chỉ để chờ đợi.
Việc chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone không chỉ giúp tạo ra nguồn nhiệt khác biệt mà còn giúp loại bỏ thời gian chờ đợi phiền toái kia.
Vấn đề liên quan đến việc chờ đợi
Hãy tưởng tượng cách hoạt động của khí nóng: bạn cần làm nóng không khí trước, sau đó mới dùng không khí đó để làm nóng vật liệu cần được xử lý. Đó là một bước trung gian. Bạn sẽ phải chờ đợi vài phút cho đến khi buồng gia công đạt được nhiệt độ mong muốn.
Đèn hồng ngoại loại bỏ bước trung gian này. Năng lượng được truyền trực tiếp từ đèn sang vật liệu cần được xử lý. Nhờ đó, thời gian chuẩn bị có thể được rút ngắn từ vài phút xuống còn vài giây. Điều này giống như việc bật công tắc điện vậy.
Vấn đề liên quan đến ozone
Đây là điểm khó khăn nhất. Hầu hết các đèn hồng ngoại thông thường phát ra bức xạ ở bước sóng khoảng 185nm. Vấn đề là điều này tạo ra ozone.
Trong môi trường sạch, ozone là một mối nguy hiểm. Nó có thể làm hư hại các chi tiết cần được bảo vệ. Để khắc phục điều này, chúng ta sử dụng các sợi dây tóc đã được lọc và các vỏ bọc bằng thạch anh đặc biệt. Như vậy, bạn vẫn có thể nhận được nhiệt độ cao, nhưng không còn vấn đề về ozone nữa.
Cách thiết lập đúng cách
Bạn không thể chỉ cắm đèn vào và coi như xong. Những chiếc đèn này tiêu tốn rất nhiều điện năng, vì vậy bạn cần đảm bảo rằng điện áp cung cấp cho chúng phải chính xác – nếu không, đèn sẽ bị hỏng rất nhanh.
Lưu ý: Những chiếc đèn này rất nóng. Nếu bạn muốn đạt được nhiệt độ cao nhất, đừng sử dụng các phụ kiện rẻ tiền. Chúng sẽ bị biến dạng. Hãy sử dụng các vật liệu gốm chịu nhiệt cao nếu bạn muốn đèn hoạt động bền lâu.
Nhược điểm
Không có gì là hoàn hảo cả. Đèn hồng ngoại rất nhanh, nhưng nó chỉ có thể làm nóng những vị trí mà nó có thể “nhìn thấy”. Nếu các chi tiết cần được xử lý có hình dạng kỳ lạ hoặc có những khe hở sâu, thì sẽ có những vùng không được làm nóng.
Bạn cần dành thời gian để thiết lập lại cách bố trí các đèn hoặc sử dụng các tấm phản chiếu. Điều này đòi hỏi một chút thời gian để điều chỉnh, nhưng một khi bạn có thể làm cho nhiệt độ được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt vật liệu, thì tốc độ xử lý sẽ xứng đáng với mọi nỗ lực của bạn.