从强制空气加热转向无臭氧红外加热技术
如果你们仍然使用热空气循环方式来处理半导体，那你们很可能要花费大量时间来等待温度达到合适水平。
改用无臭氧红外灯，不仅仅是换了一种加热方式而已，更重要的是可以消除那种令人烦躁的等待时间。
“等待”的问题
想象一下强制空气加热的原理：首先需要加热空气，然后再让空气去加热芯片。这中间需要一个“中介”环节。因此，你得花几分钟的时间来等待腔室内的温度达到合适值。
而红外灯则没有这个中间环节。能量直接从灯泡传递到工件上。这样一来，加热时间可以从几分钟缩短到几秒钟而已。就像开关电灯那么简单。
臭氧问题
不过，这里有个问题。大多数标准短波红外灯会发出大约185纳米左右的辐射。问题在于，这种辐射会产生臭氧。在洁净室里，臭氧是个大麻烦——它会破坏密封件，还会氧化那些需要保持纯净状态的部件。为了解决这个问题，我们可以使用经过过滤的灯丝以及特殊的石英封装。这样就能获得极高的热量，同时避免化学污染。
正确设置装置
不能简单地把灯插上就能使用。这些灯耗电量很大，所以必须确保电压控制准确无误，否则灯管会很快损坏。另外，需要注意的是，这些灯非常热。如果你希望获得最大的加热效果，那就不要使用廉价的固定装置，因为它们很容易变形。最好使用耐高温的陶瓷材质来固定这些灯。
局限性
没有什么是完美的。虽然红外加热速度极快，但它具有方向性。与热空气不同，热空气可以均匀地包围芯片，而红外光只能加热它能够照射到的区域。如果芯片的形状复杂或有许多凹陷处，那么那些地方就会变得很冷。因此，你需要花些时间来设计合适的灯组或反射器。虽然需要一些调整，但一旦能够让整个芯片表面都得到均匀的加热，那么这么做的努力就值得了。