Einführung
Haben Sie schon einmal das Gefühl, im Wartezustand festzusitzen? Wenn Ihre Anlage mit aufwändigen Verarbeitungsschritten beschäftigt ist, verzögert die heiße Luft den gesamten Prozess. Deshalb haben wir etwas entwickelt, um dieses Problem zu lösen – den energieeffizienten Waferheizer.
Es geht hier um Geschwindigkeit. Wir haben dabei die Technologie der Kurzwellen-Infrarot-Halogenlampen genutzt, um die Wärme genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Oberfläche des Wafers –, ohne dass ganze Schächte in Öfen verwandelt werden müssen.
Was ihn ausmacht
Der Kern des Heizers besteht aus einem Quarzkern, der mit hochreinem Halogen gefüllt ist. Diese Kombination ermöglicht es, die Wärme effektiv zu speichern und gleichmäßig abzugeben. Dadurch bleibt die Temperatur konstant – genau dort, wo sie benötigt wird.
Die Heizlänge von 300 mm ist ideal: Sie passt zu den gängigen Werkzeugen, sodass der Heizer problemlos eingesetzt werden kann, ohne den gesamten Prozess zu stören. Die Leistung des Heizers wurde so eingestellt, dass genau die richtige Menge an Wärme erzeugt wird – für konstante Ergebnisse. Sie erhalten somit eine Leistung ähnlich wie beim RTP-Verfahren – ohne die Komplikationen durch komplexe Anschlussysteme.
Aufbau im Detail
Den Kern des Heizers umhüllt eine Quarzwand, die wiederum mit hochreinem Halogen gefüllt ist. Dadurch wird die Wärme effektiv gespeichert und gleichmäßig abgegeben. Der Halogenkreislauf sorgt außerdem dafür, dass der Heizer auch nach zahlreichen Auf- und Abkühlschleifen stabil bleibt.
Das Austauschen der Lampe ist dank des R7s-Bi-Pin-Anschlusses sehr einfach – sie lässt sich ohne Werkzeuge einsetzen, wodurch die Stillstandszeit minimal ist. Die Außenschicht des Heizers ist zudem sehr widerstandsfähig gegen thermische Belastungen und Verunreinigungen – dadurch bleibt die Strahlungsleistung konstant und die Wartung einfach.
Was das für Sie bedeutet
Bei aufwendigen Verarbeitungsvorgängen ist Zeit Geld. Mit Infrarot-Heizungen können Sie Zeit sparen. Da der Wafer direkt erhitzt wird – und nicht die Luft darum herum – müssen Sie nicht mehr darauf warten, bis der gesamte Schacht die gewünschte Temperatur erreicht hat. Die Temperaturwechsel erfolgen schnell, die Gleichmäßigkeit bleibt hoch – und Sie verbrauchen weniger Energie pro Charge.
Das ist genau die Art von Verbesserung, die man bei Bedarf installiert, um mehr Produktivität zu erzielen, ohne dabei mehr Platz zu benötigen.
Achtung: Die hohe Wärmestärke bedeutet, dass Ihre Kühl- und Schutzsysteme ebenfalls hochwertig sein müssen. Wenn diese nicht ausreichen, können es zu Hotspots kommen. Passen Sie die Leistung der Lampe jedoch Ihrem thermischen Budget an, läuft der Prozess reibungsloser – mit weniger Fehlprodukten.