Hören Sie auf, Energie bei der Verarbeitung von Wafern zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Die meisten Systeme zur Erhitzung von Wafern sind erstaunlich ineffizient. Wenn man Standard-Quarzlampen verwendet, wird die Wärme in alle Richtungen abgegeben – also in 360 Grad. Das bedeutet, dass die Hälfte der teuren Elektrizität nur dazu dient, das Gehäuse der Maschine zu erwärmen, anstatt tatsächlich auf den Siliziumkern zu wirken. Das ist eine Verschwendung von Energie und birgt zudem Probleme für die Kühlsysteme.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir goldreflektierende Beschichtungen verwendet haben, um die Wärme genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird.
Warum Gold?
Es liegt daran, wie Gold mit Infrarotwellen umgeht. Gold ist hervorragend darin, diese Wellen zurückzuschicken. Durch das Aufbringen einer präzisen Goldschicht auf den Reflektor können wir verhindern, dass die Infrarotwellen in die falsche Richtung abgelenkt werden – stattdessen werden sie direkt auf die Wafernoberfläche gelenkt.
Das Ziel ist es nicht einfach nur, die Temperatur höher zu setzen. Es geht vielmehr um Kontrolle. So erhalten Sie einen viel gezielteren und intensiveren Wärmestrahl auf das Zielobjekt – ohne dabei die Leistung erhöhen zu müssen.
Einsparungen bei den Stromkosten
Bei der Planung eines Systems möchte man möglichst schnell die gewünschte Temperatur erreichen. Goldbeschichtete Reflektoren verhindern die „Leckagen“ von Wärme, die normalerweise dazu führen, dass die Vakuumkammer wie ein Ofen funktioniert. Dadurch kann man pro Wafer weniger Energie verwenden. Wenn man eine Anlage mit Hunderten von Lampen betreibt, führen diese kleinen Einsparungen zu erheblichen Kostenersparnissen im Monat.
Ein Wort der Vorsicht
Es gibt jedoch einen Trade-off: Da die Wärme so stark konzentriert wird, geschehen die Dinge sehr schnell. Man muss daher besonders darauf achten, die PID-Einstellungen richtig einzustellen. Wenn der Regelkreis etwas träge reagiert, könnte es passieren, dass die gewünschte Temperatur überschritten wird – und der Substrat beschädigt wird, bevor das System reagieren kann.
Die gute Nachricht: Wir haben diese Reflektoren als Ersatzteile entwickelt. Sie können Ihre alten Aluminium- oder polierten Stahlteile einfach ersetzen, ohne das gesamte System neu entwerfen zu müssen. So bleibt Ihre Ausrüstung kühler, die Lüfter müssen nicht mit voller Leistung arbeiten, und der Energieverbrauch bleibt gering. Stellen Sie nur sicher, dass Ihre Sensoren für die höhere Intensität bereit sind.