متوقف کردن فاجعه ناشی از آلودگی ویفرها
بیایید صادق باشیم: در فرآیندهای تولید نیمهرساناها، خراب شدن لامپها یک فاجعه بزرگ است. این موضوع صرفاً خرابی یک قطعه نیست؛ بلکه یک وضعیت بسیار بد است. وقتی لوله کوارتز تحت فشار زیادی خراب میشود، تکههای شیشه و رشتههای تانگستن روی ویفرها میافتند.
در یک لحظه همه چیز درست است، اما در لحظه بعد، مجبور میشویم کل دستههای ویفرها را از بین ببریم. این موضوع یک مشکل بزرگ است که هیچ کس نمیخواهد با آن روبرو شود.
چرا از سیستم دو لولهای استفاده میکنیم؟
مسئله مربوط به گرماست. اگر تمام انرژی لامپ را در یک لوله با توان بالا جمع کنیم، نقطه مرکزی لوله بیش از حد گرم میشود. این امر باعث فشار بیش از حد بر کوارتز میشود و در نهایت منجر به خرابی آن میگردد.
ما این مشکل را با تقسیم بار بین دو لوله حل میکنیم. این کار باعث میشود دمای سطح کنترل شود و از پارگی شیشه جلوگیری شود؛ در عین حال، گرمای لازم برای فرآیند تولید نیز فراهم میشود.
راز استفاده از پوشش طلا
پس چرا از طلا استفاده میکنیم؟
کوارتز استاندارد کمی هدردهنده است؛ زیرا اجازه میدهد تشعشعات مادون قرمز از همه جهات خارج شوند. با اضافه کردن لایه طلا به پشت لوله، در واقع یک آینه ایجاد میکنیم؛ این آینه تمام انرژی را به سمت ویفرها هدایت میکند.
نکته خوب این است که میتوانیم چگالی گرمایی بالاتری در نقطه مورد نظر داشته باشیم، بدون اینکه مجبور باشیم ولتاژ را به سطوح خطرناکی برسانیم. این روش کارآمدتر است.
حفاظت از وسایل
هیچ لامپی غیرقابل خرابی نیست. وقتی که تولید را تا حد ممکن افزایش میدهیم، مشکلاتی پیش میآید.
برای اینکه شبها بهتر بتوانیم بخوابیم، پیشنهاد میکنیم از سپرهای حفاظتی یا «غلافهای ایمنی» استفاده کنیم. به این ترتیب، اگر لوله خراب شود، تکههای آن درون غلاف ماندند و کارهای ما خراب نخواهد شد.
یک نکته دیگر: مراقب منبع تغذیه لامپ باشید.
تمایل داریم ولتاژ لامپ را بالاتر ببریم تا سریعتر به دمای مورد نظر برسیم؛ اما این کار را نکنید. این کار باعث خرابی رشتههای لامپ میشود. بهتر است تنظیمات PID لامپ را با سرعت طبیعی افزایش دمای آن هماهنگ کنید. این کار کمی زمان بیشتری میخواهد، اما از فاجعههای احتمالی جلوگیری میکند.