IR 램프가 고장나면 모든 것이 엉망이 됩니다.
반도체 제조 공장에서 램프가 고장나는 것은 사소한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 재앙입니다.
상상해보세요. 고부하 작업을 하고 있는 중에 쿼츠 소재의 램프 외피가 깨져버립니다. 갑자기 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이로 인해 단 한 개의 웨이퍼만 망가지는 것이 아니라, 전체 생산 로트가 망가집니다. 몇 시간에 걸친 노력과 많은 비용이 한순간에 사라집니다.
왜 이런 램프들이 고장나는 걸까요?
대체로 열충격이나 특정 부위의 과열 때문입니다. 우리는 이를 방지하기 위해 많은 노력을 기울였습니다.
우리는 고순도의 합성 쿼츠를 사용하고, 램프의 벽두께를 조절하여 급격한 온도 변화에도 균열이 생기지 않도록 합니다. 하지만 진짜 비결은 바로 텅스텐 필라멘트가 정중앙에 위치하는 것입니다. 조금이라도 치우치면 과열이 발생하여 유리가 깨집니다.
웨이퍼를 보호하기 위해
문제가 생겨도 웨이퍼가 깨끗하게 유지되도록 하기 위해, 우리는 2중 보호 장치를 사용합니다.
일반적으로 세라믹이나 고순도 쿼츠로 만들어진 보호 커버를 사용하여 램프를 보호합니다. 내부 램프가 고장나거나 깨지면, 이 커버가 모든 파편을 가로챕니다. 그렇게 해서 웨이퍼는 안전하게 보호됩니다.
또한 커넥터에도 많은 주의를 기울입니다. 고진동 환경에서는 연결부가 느슨해져 아크가 발생할 수 있습니다. 이로 인해 밀폐 부위에 과열이 발생하여 균열이 생깁니다. 그래서 우리는 모든 것을 단단히 고정시키기 위해 강화된 밀폐 장치를 사용합니다.
알아야 할 타협점
높은 강도의 IR 광선을 얻으려면 더 높은 와트수가 필요합니다. 하지만 더 높은 와트수는 할로겐 가스로 인한 내부 압력을 증가시킵니다. 물론, 더 빠른 가동이 가능하지만, 램프에 가해지는 스트레스도 커집니다. 여기서 냉각 시스템이 중요한 역할을 합니다. 냉각 시스템이 약하다면 램프의 끝부분이 과열됩니다. 그렇게 되면 램프의 품질이 아무리 좋아도 밀폐 부위가 깨질 것입니다.
균형이 모든 것입니다.