세척 후 웨이퍼 건조 램프

웨이퍼를 세척하면 표면은 깨끗하지만 동시에 불안정한 상태가 된다. 남아 있는 수분은 리소그래피와 식각 공정을 거쳐 결함으로 이어지며, 결국 수율 저하로 나타난다. 우리는 웨이퍼 건조 램프를 사용하여 빠르고 제어된 에너지로 수분을 제거한다. 표면 손상 없이 수분을 증발...