Di bilik proses tersebut, lampu yang digunakan untuk proses difusi bukan sekadar sumber haba semata-mata. Ia juga berfungsi untuk menentukan tahap suhu yang diperlukan semasa proses pemrosesan. Jika suhu tidak dikawal dengan tepat, walaupun hanya sebanyak satu darjah, maka profil fotoresest akan berubah. Ini seterusnya akan mempengaruhi kualiti hasil pemprosesan. Yang diperlukan ialah haba yang konsisten, bersih, dan cepat.
Apa yang telah kami bina secara teknikalnya
Kami menggunakan unsur halogen berfrekuensi inframerah dekat (NIR) di dalam bekas kuarsa. Spektrum cahaya yang dihasilkan disesuaikan agar dapat menghasilkan pemanasan yang efektif pada permukaan bahan yang diproses. Dengan cara ini, suhu dapat dinaikkan dengan cepat, tanpa menyebabkan perubahan suhu yang berlebihan pada bahan tersebut. Kesan pemanasan ini kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C untuk setiap wafer. Masa tindak balas lampu tersebut adalah kurang dari satu saat, sehingga memungkinkan kawalan suhu yang lebih baik. Reka bentuk ini juga menghasilkan tiada zarah kontaminan semasa operasi, dan ia boleh beroperasi dalam ruang bersih kelas 1–100 tanpa mengeluarkan gas berbahaya. Ketumpatan tenaga yang dihasilkan sesuai dengan keperluan furnace tersebut, dan outputnya tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan kurang dari 5%.
Mengapa ia sesuai untuk kerja yang anda lakukan
Dalam proses difusi, konsistensi sangat penting—sama ada dari segi penambahan bahan kimia, pembentukan lapisan, atau keseluruhan proses pemprosesan. Dalam proses pemrosesan fotoresest pula, ketepatan suhu sangat penting agar dimensi dan sudut-sudut tertentu dapat dipertahankan. Lampu ini mampu memberikan kedua-dua ciri tersebut.
Ketepatan suhu yang tinggi dapat mengurangkan tekanan termal, mengurangkan risiko kecacatan, dan memendekkan masa proses. Operasi yang bersih juga dapat mengurangkan jumlah zarah kontaminan, yang sangat penting untuk kualiti wafer. Tindak balas yang cepat serta penggunaan tenaga yang rendah memastikan penggunaan tenaga yang efisien. Jangka hayat yang panjang pula bermakna kurangnya keperluan untuk penyelenggaraan. Hasilnya ialah kawalan yang lebih baik, pengurangan jumlah bahan yang rosak, dan kecekapan proses yang stabil.
Butiran praktikal yang perlu diberi perhatian
Pemasangan lampu tersebut memerlukan penyesuaian optik yang tepat, serta peralatan yang tidak akan mengganggu pola pemanasan yang dihasilkan. Lampu ini beroperasi pada kadar tenaga yang tinggi, jadi perlu ada sistem penyejukan yang mencukupi serta bekalan tenaga yang stabil. Parameter PID pada controller furnace perlu disesuaikan agar suhu dapat dikawal dengan baik. Selepas diganti, lampu tersebut memerlukan masa untuk mencapai keadaan stabil sepenuhnya. Pelaksanaan penggantian lampu secara berkala dapat membantu memastikan proses berjalan lancar.