Ngăn chặn tình trạng bóng đèn nổ gây hư hại cho sản phẩm
Trong quá trình gia nhiệt trong ngành bán dẫn, việc bóng đèn nổ là một thảm họa thực sự. Không chỉ làm gián đoạn quá trình gia nhiệt, việc bóng đèn vỡ còn khiến các mảnh thủy tinh và kim loại văng ra, gây hỏng hại cho bề mặt wafer. Chỉ cần một lần bóng đèn nổ, toàn bộ sản phẩm bạn sản xuất ra sẽ trở thành rác thải.
Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn tình trạng này xảy ra.
Giữ cho mảnh vỡ ở bên trong
Chúng tôi sử dụng thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao, vì loại thủy tinh này có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ đột ngột mà không bị nứt vỡ. Nhưng chúng tôi không dừng lại ở đó. Chúng tôi còn bọc bóng đèn bằng lớp vật liệu bảo vệ đặc biệt. Điều này giống như một “lưới an toàn” – nếu sợi dây tóc bên trong bóng đèn bị hỏng, các mảnh vỡ sẽ bị giữ lại bên trong lớp vật liệu bảo vệ. Nhờ vậy, thảm họa có thể được kiểm soát. Bạn có thể mất một chiếc bóng đèn, nhưng vẫn có thể bảo vệ được các wafer.
Đối phó với hiện tượng nóng quá mức
Các bóng đèn công suất cao tạo ra nhiệt lượng cực lớn. Nếu hệ thống làm mát không thể đáp ứng được nhu cầu làm mát, đầu mút của bóng đèn sẽ bị quá nóng. Điều này gây ra áp lực lớn lên lớp vật liệu bảo vệ. Để khắc phục điều này, chúng tôi điều chỉnh vị trí của sợi dây tóc bên trong bóng đèn. Nhờ vậy, nhiệt lượng sẽ tập trung vào bề mặt wafer, chứ không phải vào các bộ phận hỗ trợ bóng đèn. Điều này giúp ngăn chặn việc thủy tinh bị mềm hoặc nứt vỡ ở những vị trí dễ bị tổn thương nhất.
Sự hy sinh cần thiết
Các bóng đèn của chúng tôi được thiết kế để có thể thay thế ngay lập tức, vì vậy bạn không cần phải chờ đợi hàng giờ để sửa chữa. Nhưng có một điều cần lưu ý: những lớp vật liệu bảo vệ này giúp bảo vệ wafer khỏi bị hư hại, nhưng chúng cũng làm giảm khả năng truyền sóng hồng ngoại. Vì vậy, bạn có thể cần tăng mức công suất của bóng đèn lên một chút để duy trì tốc độ gia nhiệt mong muốn. Đó là một sự hy sinh cần thiết. Chúng tôi muốn bạn dành hai giây để điều chỉnh cài đặt, thay vì phải mất hai ngày để dọn dẹp những sản phẩm bị hư hỏng.