太阳能电池片干燥灯

在光刻工艺中，光阻的稳定性至关重要。如果清洁后仍有微量水分残留，就会导致缺陷的产生。此外，软烘和硬烘过程中的温度控制也极为重要。使用传统干燥方式时，温度分布会出现偏差，从而导致粒子数量和线条宽度的控制变得困难。 我们的太阳能电池晶圆干燥灯能够实现±0.1°C的温度均匀性，其原理是采用短波红外线发射...