用于半导体加热器的热电偶

防止灯泡爆裂毁掉整批产品 在半导体制造过程中，灯泡爆裂无疑是一场灾难。问题不仅在于加热过程会中断，更因为当石英管在高温作用下破裂时，它就会变成“手榴弹”，将玻璃碎片和金属碎屑溅到晶圆表面。一旦发生这种情况，整批产品就废了。 我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。 将碎片限制在内部 我们首先...