फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया के दौरान मात्र 0.1°C का तापमान-परिवर्तन ही 300 मिमी आकार के वेफरों को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। ऐसी स्थिति से बचने हेतु ही इंटरपोज़र को गर्म करने हेतु इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया जाता है।
इस प्रक्रिया में छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड उत्सर्जकों का उपयोग किया जाता है; इससे तेज़ एवं स्थानीयकृत ऊष्मा प्राप्त होती है। इंटरपोज़र की सतह पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर ही। तापमान की पुनरावृत्ति भी नियंत्रित रहती है। शिखर तरंगदैर्घ्य को फोटोरेजिस्ट के अवशोषण के अनुरूप ही सेट किया जाता है; इससे ऊर्जा सीधे फोटोरेजिस्ट पर ही पड़ती है, जिससे नीचे मौजूद डायेलेक्ट्रिक्स पर कोई प्रभाव नहीं पड़ता। यह लैंप 24/7 काम करता है, कोई कण उत्पन्न नहीं करता, एवं क्लास 1 से क्लास 100 तक की स्वच्छता स्तरों पर ही काम करता है।
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से विलायक निकल जाते हैं एवं फोटोरेजिस्ट की संरचना तय हो जाती है। “हार्ड बेक” प्रक्रिया से एचिंग से पहले ही पैटर्न तय हो जाता है। दोनों ही प्रक्रियाओं हेतु स्थिर एवं एकसमान तापमान आवश्यक है। यह लैंप इंटरपोज़र के तापमान को स्थिर रखता है; इससे लाइनों की चौड़ाई में व्यवधान नहीं आता, एवं डेवलपमेंट के बाद कोई दोष भी नहीं आता।
परिणाम? अधिक उत्पादन, कम पुनर्कार्य, एवं विश्वसनीय तापमान नियंत्रण। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप केवल लक्षित क्षेत्र को ही गर्म करता है, पूरे हीट प्लेट क्षेत्र को नहीं।
कुछ व्यावहारिक बातें… इस लैंप की स्थापना हेतु सावधानीपूर्वक ऑप्टिकल एलाइनमेंट एवं क्लीनरूम-ग्रेड माउंटिंग आवश्यक है। आउटपुट तीव्रता को विशिष्ट इंटरपोज़र संरचनाओं के अनुरूप ही सेट किया जाता है; इसलिए यदि संरचना में परिवर्तन हो जाए, तो सेटपॉइंट प्रोफ़ाइल में भी समायोजन आवश्यक हो जाता है।
अपने लिथोग्राफी सिस्टम एवं थर्मल कंट्रोलर के साथ इस लैंप को पहले ही इंटीग्रेट कर लेना आवश्यक है। ऐसा करने से प्रक्रिया सुचारू रूप से चलती रहेगी।