半導体の製造においては、熱が不可欠です。しかし、実際に工場で働いたことがある人ならわかると思いますが、どれだけのエネルギーが無駄に消費されているか。従来の抵抗加熱器は、実質的には装置全体を温めるためのものに過ぎません。これは明らかな無駄遣いです。
もし本当に環境に優しい工場を実現したいのであれば、空気を温めるのではなく、ウェーハ自体を直接加熱する必要があります。そこで役立つのが、金コーティングされた短波赤外線ランプです。
金コーティングの魔法 通常の石英ランプは、熱をあらゆる方向に放出します。しかし、石英に薄い金の層を加えることで、「不要な」熱を反射させることができます。長波長の放射光はフィラメントに戻され、一方、短波長の赤外線は直接ウェーハに届きます。その結果、装置全体が温まるのではなく、必要な場所だけに集中的に熱が与えられます。これにより、効率が向上します。
処理速度の向上 このランプは、狭い範囲に大量のパワーを集中させることができるため、加熱や硬化の時間が大幅に短縮されます。非常に速いのです。そして、それによって電力代も削減されます。PID制御が要求する迅速なオン/オフ切り替えにも対応しているので、精度も維持されます。
ただし、一つアドバイスがあります：冷却システムを確認してください。金コーティングによって多くの熱が前方に送られるため、もし空気の流れが悪ければ、装置の背面が意外と高温になる可能性があります。冷却が不十分だと、フィラメントが破損してしまいます。火曜日を台無しにするわけにはいきません。
占有面積の削減 最良の点は、加熱エリアを小さくできることです。もはや周囲の空気を温める必要はありません。これは、単位面積あたりの二酸化炭素排出量を減らす最も直接的な方法です。ほとんどの場合、これらのランプは従来のハロゲンランプの代替品として使えます。ただし、高出力のため、電源が十分な電圧と電流を供給できるかを確認しておく必要があります。