Voorkom dat uw IR-lampen uw wafern beschadigen
In een productieomgeving met hoge volumes is een kapotte IR-lamp een groot probleem. Het gaat niet alleen om de stilstand van de apparatuur. Als de kwartsbuis bovenop een siliciumwafer barst, leidt dat tot onmiddellijke vervuiling en moet het hele batch afval worden. Het is een chaos.
Daarom bouwen we onze IR-elementen op deze manier.
Het glas op de juiste plek houden
We vertrouwen niet alleen op één laag glas. We gebruiken een dubbele laagstructuur. De verwarmingselementen bestaan uit hoogzuiver gefuseerd kwarts. Voor gloveboxes voegen we echter nog een extra laag toe – in feite een gespecialiseerde kwartsmantel.
Stel het maar voor als een soort verzekering. Als het binnenste filament kapotgaat of de buis door thermische schokken barst, vangt deze mantel de glasstukjes op en houdt het halogeengas tegen. Uw wafern blijven dan schoon. Geen deeltjes, geen problemen.
Omgaan met de hitte
Wanneer u deze lampen met hoge vermogens gebruikt, ontstaan er ‘heiße punten’. Hier wordt het glas te zacht en uiteindelijk kapot. Om dit te voorkomen, verdeelen we de vermogensdichtheid gelijkmatig over de hele buis, zodat geen enkel punt te heet wordt.
U heeft hier ook een rol in. Uw PID-regelaar moet goed worden afgesteld. Als u de gewenste temperatuur zelfs maar met 10% overschrijdt, verkort u de levensduur van de lamp aanzienlijk.
Alle details rondom de installatie
We gebruiken standaardconnectoren om de elektrische verbindingen stevig te houden. Waarom? Omdat losse verbindingen tot elektrische vonken kunnen leiden, en die vonken kunnen de buizen beschadigen. Controleer dus goed de contactdruk. Het duurt maar twee seconden, maar het bespaart u later veel problemen.
Een ding om rekening mee te houden: de mantel blokkeert een klein beetje van het IR-licht. U zult waarschijnlijk de vermogensinstellingen met 3-5% moeten verhogen om dezelfde opwarmtijd te krijgen als bij een lamp zonder mantel.
Het is een kleine concessie, maar het is zeker beter dan glasstukjes van de wafern te moeten halen.