Tijdens het proces van het verhitten van de fotorezist wordt ook bepaald hoeveel warmte er wordt toegepast. Als de hittezone zich verschuift of het glas begint te vervormen, verdwijnt deze mogelijkheid tot nauwkeurige controle en neemt de kwaliteit van het product af. In een LCD-panelfabriek zijn de ondergronden groot en gevoelig voor temperaturen; ze tolereren geen onnauwkeurige controle. Wij hebben onze infraroodverwarmers zo ontworpen dat ze een stabiel en reproduceerbaar temperatuurprofiel kunnen behouden.
Wat technisch belangrijk is:
Onze NIR-verwarmers zorgen voor een uniforme warmtestraling over grote oppervlakken, met een temperatuurstabiliteit van ±0,1°C over het hele oppervlak. De kwarts-halogeenemitterarray zorgt voor een snelle warmtestraling en kan nauwkeurig worden geregeld. Hierdoor blijft de gewenste temperatuur binnen strikte toleranties, vanaf het begin van het proces tot het einde.
De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 is vanaf het begin in het ontwerp opgenomen. Materiaal met lage uitstoot, goed afgesloten verbindingen en een optimale luchtcirculatie zorgen ervoor dat er weinig deeltjes vrijkomen en dat er geen contaminatie optreedt. Geen deeltjesvorming tijdens het thermische proces beschermt de fotorezistlaag.
Waarom dit werkt:
Bij lithografie is het verhitten van de fotorezist geen losstaand proces – het is essentieel voor het hele proces. Een nauwkeurige temperatuurcontrole zorgt voor minder variaties in de afmetingen van de lijnen en voor een consistente kwaliteit van de producten. Een snelle temperatuurreactie verkort de cyclustijd zonder dat er sprake is van overshoot. Bovendien zorgt een hoge efficiëntie voor minder energieverbruik per paneel. Het resultaat is minder herwerkzaamheden, minder afval en een betrouwbare productiecapaciteit.
Belangrijke punten:
De verwarmers zijn compact en modulair, maar ze kunnen niet zomaar worden geïntegreerd. Je moet de uitgangssnelheid van de lampen afstemmen op de geometrie van de kamer, de pyrometer kalibreren op de emissiviteit van het glas en de luchtcirculatie zo regelen dat het gewenste temperatuurprofiel wordt bereikt. Plan een kort testproces om de PID-instellingen af te stemmen op jouw ondergrond en de snelheid van de transportband.