فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے عمل میں، حرارتی سطح کو کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ اگر گرمی کا علاقہ تبدیل ہو جائے یا شیشہ بگڑنے لگے، تو پروڈکشن کی کارکردگی متاثر ہو جاتی ہے۔ LCD پینلوں کی تیاری میں، سبستریٹ بہت بڑا ہوتا ہے، اور حرارت کے لحاظ سے بہت حساس ہوتا ہے؛ اس لیے اس کو مناسب طریقے سے کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ ہم نے اپنے انفراریڈ ہیٹرز کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ حرارتی سطح مستحکم رہے، اور اس کو کنٹرول کیا جا سکے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں:
ہمارے انفراریڈ ہیٹرز، بڑے رقبے والے سبستریٹوں پر یکساں حرارت فراہم کرتے ہیں؛ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی استحکام ±0.1°C ہے۔ کوارٹز-ہیلوجن ایمیٹرز سے تیز رفتاری سے حرارت فراہم ہوتی ہے، اور اس کو بہت اچھی طرح کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ اس طرح، حرارتی سطح ہمیشہ مطلوبہ حدود میں رہتی ہے۔
کلین روم کلاس 1–100 کے ساتھ مطابقت:
شروع سے ہی کلین روم کلاس 1–100 کے ساتھ مطابقت کو یقینی بنایا گیا ہے۔ کم گیس خارج کرنے والے مواد، سیلڈ جنکشنز، اور بہترین ایئر فلو کی وجہ سے ذرات کی تعداد کنٹرول میں رہتی ہے، اور آلودگی سے بچا جا سکتا ہے۔ حرارتی عمل کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، جس سے فوٹوریزسٹ کی سطح محفوظ رہتی ہے۔
یہاں یہ عمل کیوں کام کرتا ہے؟
لیتھوگرافی میں، بیکنگ ایک الگ عمل نہیں ہے، بلکہ یہ پورے عمل کو ممکن بناتا ہے۔ یکساں حرارتی سطح سے CD کی تغیرات کم ہو جاتے ہیں، اور پروڈکشن کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے۔ تیز رفتار حرارتی ردِعمل سے عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور اعلیٰ کپلنگ افیشنسی سے ہر پینل کے لیے درکار توانائی کم ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، فضول مواد کم ہو جاتا ہے، اور پروڈکشن کی صلاحیت بہتر ہو جاتی ہے۔
جاننے کے لئے اہم باتیں:
ہیٹرز چھوٹے اور ماڈیولر ہیں، لیکن ان کو استعمال کرنے کے لئے خصوصی انتظامات ضروری ہیں۔ لیمپ کی روشنی کو چیمبر کی ساخت کے مطابق ڈھالنا، پائرومیٹر کو شیشے کی خصوصیات کے مطابق کیلیبریٹ کرنا، اور ایئر فلو کو مناسب طریقے سے کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ سبستریٹ اور کنوینیور کی رفتار کے لحاظ سے PID میپس کو درست کرنا ضروری ہے۔